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一臺光刻機一天能產多少芯片

合明科技 ?? 2911 Tags:光刻機先進封裝清洗倒裝芯片清洗

一臺光刻機一天能產多少芯片

光刻機又叫掩模對準曝光機、曝光系統、光刻系統等,是制造芯片的核心裝備。光刻也被稱為光學平版刻法或紫外光刻,是一種在薄膜或基板(也被稱為“晶圓”)上對零件圖形化的精密加工工藝。簡單來說,光刻機就是通過一系列的光源能量、形狀控制手段,將光束透射過畫著線路圖的掩模,經物鏡補償各種光學誤差,將線路圖成比例縮小后映射到硅片上,不同光刻機的成像比例不同,有5:1的,也有4:1的。然后使用化學方法顯影,得到刻在硅片上的電路圖(即芯片)。

那么一臺光刻機一天能產多少芯片呢?接下來小編就給科普一下關于光刻機產量的相關知識,希望能對您有所幫助!

光刻機.png

在光刻機的領域,一項關鍵指標被稱為WPH,即一小時單位產能。現代先進的DUV光刻機已經能夠達到每小時處理200片以上。然而,光刻機數量有限,一家半導體工廠通常只有大約10多臺,這些光刻機的性能也不盡相同。舉例來說,一個擁有3萬片產能的28納米工藝工廠可能只有2臺最先進的光刻機,其他光刻機則采用不同的型號。

但是,光刻機的最大WPH只是影響月產能的一部分因素。28納米工藝需要經歷多次光刻步驟,每片晶圓通常需要反復曝光13到15次。因此,產能的瓶頸并不只是光刻機,還包括其他制程設備的性能和數量。

關于光刻機是否夠本,需要從產業壽命周期的角度來看。光刻機的前道設備,盡管可能看似利潤有限,但在長期發展中,這些設備成為了半導體產業的關鍵環節。在中國這樣龐大的國內市場中,一個產業集群具有巨大的消化能力。因此,前道光刻機的成本可以逐漸被消化,而不是成為制約產業發展的因素。

然而,對于前道光刻機制造裝備,特別是高端前道光刻機,中國目前仍然存在研發和制造上的短板。全球最強大的光刻機制造商ASML的市場份額在全球達到了80%,這反映出了中國在前道光刻機領域的不足。然而,光刻機只是半導體生產線的一部分,而且中國在其他制程設備方面已經有了一定的實力。

倒裝芯片清洗.png

以上是關于硅片清洗方法的相關內容介紹了,希望能對您有所幫助!

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