半導體制造材料(3)-電子特氣

半導體工業(yè)用的氣體統(tǒng)稱電子氣體。按其門類可分為純氣，高純氣和半導體特殊材料氣體三大類。電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導體發(fā)光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料，它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”。

電子特種氣體又稱電子特氣，是電子氣體的一個分支，相較于傳統(tǒng)工業(yè)氣體，純度更高，其中一些具有特殊用途。電子特氣廣泛應用于半導體、微電子和相關的太陽能電池等高科技產業(yè)，或用于薄膜沉積、刻蝕、摻雜、鈍化、清洗，或用作載氣、保護氣氛等等。電子特氣是集成電路、顯示面板、太陽能電池等行業(yè)不可或缺的支撐性材料。

一、電子特氣生產過程：

特種氣體的主要生產工序包括氣體合成、氣體純化、氣體混配、氣瓶處理、氣體充裝、氣體分析檢測。氣體合成是將原料在特定壓力、溫度、催化劑等條件下，通過化學反應得到氣體粗產品。氣體純化是通過精餾、吸附等方式將粗產品精制成更高純度的產品。氣體混配是將兩種或兩種以上有效組分氣體按照特定比例混合，得到多組分均勻分布的混合氣體。氣瓶處理是根據載氣性質及需求的不同，對氣瓶內部、內壁表面及外觀進行處理的過程，以保證氣體存儲、運輸過程中產品的穩(wěn)定。氣體充裝是指通過壓力差將氣體充入氣瓶等壓力容器；氣體分析檢測即為對氣體的成分進行分析、檢測的過程。

二、電子特氣分類：

根據制備方法和應用領域的不同，工業(yè)氣體可以分為大宗氣體和特種氣體。大宗氣體包括空分氣體(由空氣分離得到)和合成氣體，該類氣體產銷量大、對純度要求低，主要用于化工能源、金屬冶煉、機械制造等；特種氣體可分為高純氣體、標準氣體和電子特種氣體。電子特氣的下游應用包括集成電路IC、顯示面板(LCD、OLED)、光伏、LED等。

圖1.工業(yè)氣體的分類及應用

集成電路制造需經過硅片制造、氧化、光刻、氣相沉積、蝕刻、離子注入等工藝環(huán)節(jié)，這個過程中需要的高純特種氣體和混合氣體的種類超過50種，且每一種氣體應用在特定的工藝步驟中。此外，在顯示面板、LED、光伏電池片等器件的制造中的不同工藝環(huán)節(jié)均會用到多種特種氣體。

表1. 電子特氣在不同領域的應用

根據應用領域，將電子特氣細分為刻蝕用氣體、CVD 用氣體、稀釋氣體、摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、發(fā)光二極管用氣體等。

表2. 電子特氣在不同領域的應用

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